中央社
（中央社記者張建中新竹28日電）經濟部為確保半導體關鍵原料氖氣不斷氣，牽線中鋼、聯華與德商林德合作，在台灣成立精氖製造公司。半導體產業專家表示，由於替代來源多，精氖是否有必要在台灣生產有待討論。
經濟部今天證實有中鋼、聯華與德商林德三方合作案，但目前仍在討論，無法透露細節。中鋼指出，高爐在煉鋼過程會產生氖氣，針對這項三方合作案，中鋼會提供粗氖，但因簽署保密協定，相關細節不方便多說。
集邦科技產業分析師喬安表示，包含氖氣等惰性氣體主要應用於半導體微影製程，深紫外光（DUV）準分子雷射所需要的惰性混合氣體中，氖氣是必要的氣體，有關的製程自8吋的0.18微米至12吋的10奈米。
烏克蘭是全球氖氣最大供應國家，占近7成產量。當俄烏戰爭開打初期，氖氣供應問題一度引起各界高度關注，憂心氖氣供應中斷，恐連帶影響半導體生產。台積電因而在去年4月的法人說明會中，特別針對氖氣等原料供應提出說明。
不願具名的半導體產業分析師說，俄烏戰爭結果並未造成氖氣供應中斷，半導體廠營運生產也未受影響，僅引發一場虛驚。
分析師表示，氖氣目前有許多替代來源，除烏克蘭及俄羅斯外，韓國和中國大陸等也都有供應氖氣，如台積電當時即指出，包括氖氣和氙氣等氣體，向不同地區的多家供應商進行採購。分析師說，氖氣是否有必要在台灣生產就近供應有待討論。（編輯：楊凱翔）1120428
新聞來源：中央社
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